SMC執行元件有葉片式和螺桿式兩種。螺桿式氣動馬達利用螺桿將活塞的直線運動變為回轉運動。它與葉片式相比,雖然體積稍嫌笨重,但密閉性能很好。擺動馬達是依靠裝在軸上的銷軸來傳遞扭矩的,在停止回轉時有很大的慣性力作用在軸心上,即使調節緩沖裝置也不能消除這種作用,因此需要采用油緩沖,或設置外部緩沖裝置。
回轉式氣動馬達可以實現無級調速,只要控制氣體流量就可以調節功率和轉速。它還具有過載保護作用,過載時馬達只降低轉速或停轉,但不超過額定轉矩。
回轉式氣動馬達常見的有葉片式和活塞式兩種。活塞式比葉片式轉矩大,但葉片式轉速高;葉片式的葉片與定子間的密封比較困難,因而低速時效率不高,可用以驅動大型閥的開閉機構。活塞式氣動馬達用以驅動齒輪齒條帶動負荷運動。